Hogyan működnek a párologtató csónakok

Az elpárologtató csónakok kerámia alkatrészek, amelyek az elpárologtatandó fém (tiszta alumínium) tartályaként működnek. Elektromos ellenállásfűtőként funkcionálnak, a párologtató csónakot és a folyamatosan táplált alumíniumhuzalt nagy vákuumban, árammal hevítik, így a huzal először megolvad, majd elpárolog. A speciális felületi szerkezetnek és textúrának köszönhetően olvadt fürdő képződik és optimálisan oszlik el a csónakon, így biztosítva a homogén párafelhőt. A fémgőz ezután a gőzfelhő felett elhelyezkedő hordozóra kerül.

Anyagok párologtató csónakokhoz

Különféle követelményeknek kell megfelelniük a párologtató csónakoknak. Ahhoz, hogy az ellenállásfűtés elve működjön, elektromosan vezetőképesnek kell lenniük; ugyanakkor kellően nagy elektromos ellenállásra van szükségük ahhoz, hogy egyáltalán lehetővé tegyék fűtésüket. Ezenkívül ellenállónak kell lenniük a magas hőmérsékletekkel szemben és inerteknek kell lenniük az olvadt fémekkel szemben. Ezen tulajdonságok kombinálására a vegyes kerámiákat két vagy három komponensből készítik.

Two-component evaporation boats contain titanium diboride and BORON NITRIDE. Due to its bonding structure, titanium diboride offers excellent resistance to high temperatures and remains inert even to non-ferrous metal melts. It also improves the wettability of the evaporation boat through liquid aluminum and ensures a melting bath with an extensive surface. For example, when used for aluminum vapor deposition, it's completely wetted by liquid aluminum. In addition, titanium diboride is a very good electrical conductor. Boron nitride is added as a non-conductive material to set the electrical resistance of the evaporation boat.

Three-component mixed ceramics also include aluminum nitride. This material has very good thermal conductivity which makes it particularly suitable for large evaporation boats to ensure they heat up quickly and uniformly. Compared to two-component evaporation boats, the three-component versions have a shorter lifespan, with lower evaporation rates and less corrosion resistance. At the same time, the wettability of the evaporator is significantly improved and there's greater homogeneity of the vapor-deposited layers. Three-component evaporators are therefore primarily used in the manufacture of capacitors, since this requires a particularly high level of homogeneity in the coatings.