A bór-nitrid kémiai gőzfázisú szintézise

Sokolowski 1979-ben sikeresen alkalmazta az impulzusos plazmatechnológiát köbméteres bór-nitrid (CBN) filmek előállítására alacsony hőmérsékleten és alacsony nyomáson. Az alkalmazott berendezés egyszerű és a folyamat könnyen megvalósítható, ezért gyorsan fejlesztették. Különféle gőzleválasztási módszerek jelentek meg. Hagyományosan szólva elsősorban termikus kémiai gőzfázisra utal. A kísérleti eszköz általában hőálló kvarccsőből és fűtőberendezésből áll. Az aljzat fűtőkemencével (meleg falú CVD) vagy nagyfrekvenciás indukciós fűtéssel (hideg falú CVD) melegíthető. A reakciógáz lebomlik a magas hőmérsékletű szubsztrátum felületén, és ugyanakkor kémiai reakció következik be egy film lerakódása céljából. A reakciógáz BCl vegyes gáz₃ vagy B₂H₄és NH₃.