A pirolitikus bór-nitrid szerepet játszik a félvezetőiparban
Aug 22, 2023
A pirolitikus bór-nitrid (PBN) kiemelkedő tulajdonságai miatt döntő szerepet játszik a félvezetőiparban. A PBN kiváló hővezető, magas hőmérsékleten stabil, és alacsony dielektromos veszteséggel rendelkezik. Ezek a tulajdonságok ideális anyaggá teszik a félvezetőipar különböző kritikus alkalmazásaihoz.
Először is, a PBN-t epitaxiális lapkák előállítására használják. A PBN csónakok elősegítik az epitaxiális rétegek növekedését azáltal, hogy stabil platformot biztosítanak az aljzat számára, amely ellenáll a magas hőmérsékletnek és tiszta környezetet tart fenn. A PBN kiváló termikus stabilitást és vegyszerállóságot is mutat, ami csökkenti az epitaxiális rétegek szennyeződését a növekedés során.
Másodszor, a PBN-t szilíciumlapkák gyártására használják. A PBN olvasztótégelyeket a szilícium olvasztására és kristályosítására használják, amely a szilícium lapkák gyártásának kiindulási anyaga. Ezek a tégelyek ellenállnak a magas hőmérsékleti gradienseknek, és csökkentik a szennyeződés kockázatát az olvasztási folyamat során.
Ezenkívül a PBN-t nagy teljesítményű tranzisztorok gyártásához is használják. A PBN alapú hordozók stabil és tiszta platformot biztosítanak a kiváló minőségű tranzisztorok gyártásához. A PBN hordozók a parazita kapacitás csökkentésével és a hővezető képesség növelésével is javíthatják a tranzisztorok teljesítményét.
Összességében a PBN kritikus szerepet játszott a félvezetőipar fejlődésében. Kiváló tulajdonságai lehetővé tették kiváló minőségű epitaxiális rétegek, szilícium lapkák és nagy teljesítményű tranzisztorok gyártását. Mivel a fejlett félvezetők iránti kereslet folyamatosan növekszik, a PBN kétségtelenül az elkövetkező években is döntő anyag marad az iparágban.
